中国の安価な価格設定高純度CF4ガス半導体業界のエッチング

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技術的なパラメーター

テトラフルオリド炭素は、化学式CF4を備えたハロゲン化炭化水素です。それは、ハロゲン化炭化水素、ハロゲン化メタン、パーフルオロカーボン、または無機化合物と見なすことができます。テトラフルオリド炭素は無色で無臭のガスで、水に不溶性で、ベンゼンとクロロホルムに可溶です。通常の温度と圧力の下で安定して、強い酸化剤、可燃性または可燃性の材料を避けます。不燃性ガス、容器の内圧は、高熱にさらされると上昇し、亀裂や爆発の危険があります。化学的に安定しており、炎症性がありません。液体アンモニアソジウム金属試薬のみが室温で機能します。テトラフルオリド炭素は、温室効果を引き起こすガスです。それは非常に安定しており、長い間大気中にとどまることができ、非常に強力な温室効果ガスです。テトラフルオリド炭素は、さまざまな統合回路のプラズマエッチングプロセスで使用されています。また、レーザーガスとしても使用され、低温冷媒、溶媒、潤滑剤、絶縁材料、および赤外線検出器用のクーラントで使用されます。マイクロエレクトロニクス業界で最も使用されているプラ​​ズマエッチングガスです。これは、テトラフルオロメタン高純度ガスとテトラフルオロメタン高純度ガスと高純度酸素の混合物です。シリコン、二酸化ケイ素、窒化シリコン、リンシリケートガラスで広く使用できます。タングステンやタングステンなどの薄膜材料のエッチングは、電子機器、太陽電池生産、レーザー技術、低温冷蔵、漏れ検査、印刷回路生産の洗剤の表面洗浄にも広く使用されています。統合回路のための低温冷媒およびプラズマドライエッチング技術として使用されます。保管のための注意事項：涼しく換気された非可燃性ガス倉庫に保管してください。火や熱源から遠ざけてください。貯蔵温度は30°Cを超えてはなりません。簡単に（可燃性の）可燃物や酸化剤とは別に保管し、混合貯蔵を避ける必要があります。貯蔵エリアには、漏れ緊急治療装置を装備する必要があります。

応用：

①冷媒：

テトラフルオロメタンは、低温冷媒として使用されることがあります。

②エッチング：

これは、エレクトロニクスのマイクロファブリケーションで、またはシリコン、二酸化ケイ素、および窒化シリコンの血漿エッチャントとして酸素と組み合わせて使用​​されます。

通常のパッケージ：

アドバンテージ：

High Purity、最新の施設。

ISO証明書メーカー。

fast fast Delivery;

すべてのステップで品質管理のためのオンライン分析システム。

fill充填前にシリンダーを処理するための高い要件と綿密なプロセス。「品質、支援、パフォーマンス、成長」の原則を順守して、中国の高純度CF4ガスの安価な価格設定のための国内および世界的なクライアントから、サポートの概念は誠実で、積極的で現実的で革新です。支援を受けて、私たちははるかに改善します。
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