三フッ化窒素(NF3)ガスプラントの爆発

8月7日午前4時30分頃、関東電化渋川工場から爆発の通報があり、消防に通報がありました。警察と消防によると、爆発により工場の一部で火災が発生しましたが、約4時間後に鎮火しました。

同社は、火災は生産に使用されていた建物で発生したと発表した。三フッ化窒素ガスは、半導体製造に使用される装置です。警察と消防は現在、火災の詳細と原因を調査中です。また、この火災は同社の業績に重大な影響を与えると予想されます。

関東電化の担当者は、「周辺住民の皆様にはご迷惑とご心配をおかけしましたことを深くお詫び申し上げます。今後は原因究明に努め、安全で安定した生産体制の確保に努めて​​まいります」と述べた。

高純度三フッ化窒素主に大規模集積回路やディスプレイパネルの製造分野における洗浄工程で使用され、最も広く使用されている電子特殊ガスです。三フッ化窒素数千トンの供給不足に直面する可能性があり、市場機会がもたらされると予想される。中国の三フッ化窒素サプライヤー。

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投稿日時: 2025年8月29日