塩化水素刺激的な臭いを持つ無色のガスです。その水溶液は、塩酸とも呼ばれる塩酸とも呼ばれます。塩化水素は水に非常に溶けます。 0°Cでは、1容量の水が約500容量の塩化水素を溶解できます。

次の特性と特性があります。

1。高純度

電子グレードの純度塩化水素通常、ppm以下のレベルで非常に高いため、半導体製造プロセスに不純物が導入されないようにします。

2。不活性

これは、他の多くの物質と反応しない化学的に不活性ガスであり、半導体材料や装備の汚染を防ぐために非常に重要です。

3。高い安定性

電子グレード塩化水素一般に、信頼できる半導体処理を確保するための安定した化学があります。

半導体処理では、電子グレードの塩化水素の主な用途には次のものが含まれます。

1。表面の洗浄と準備

効率的な表面クリーナーとして、電子グレード塩化水素基板表面から酸化物と不純物を除去して、エピタキシャル層またはフィルムの品質と純度を確保するために使用されます。

2.エピタキシャル成長援助

エピタキシャルプロセスで表面処理剤として使用されるため、エピタキシャル層の品質を改善し、格子マッチングを改善し、格子欠陥の形成を減らすのに役立ちます。

3。基質前処理

半導体デバイスの準備前、電子グレード塩化水素基質表面を処理するために使用して安定した塩基を形成して、エピタキシャル層と基質の間の接着を改善できます。

4。堆積補助エージェント

化学蒸気堆積（CVD）または物理的蒸気堆積（PVD）の過程で、電子グレードの塩化物は、半導体材料の堆積反応に関与するための気相伝達培地として使用できます。

5。ガス相伝達剤

ガス相移動剤として、他のガスの前駆体が反応チャンバーに導入され、材料の堆積速度と均一性の調整に役立ちます。

これらの特性は電子グレードになります塩化水素最終デバイスのパフォーマンスと信頼性に重​​要な影響を与える半導体テクノロジーの重要な処理剤。

半導体加工での使用に加えて、電子グレードの塩化物は、高純度材料の調製、燃料電池、半導体材料の成長、蒸気相する、材料分析、化学研究など、他の地域でさまざまな用途を見つけることができます。

一般に、電子グレード塩化水素半導体製造以外の幅広いアプリケーションを備えた汎用性の高い高純度ガスです。