六フッ化タングステン（WF6）の使用

六フッ化タングステン (WF6) が CVD プロセスを通じてウェーハの表面に堆積され、金属相互接続トレンチが充填され、層間に金属相互接続が形成されます。

まずプラズマについて話しましょう。プラズマは、主に自由電子と荷電イオンで構成される物質の形態です。それは宇宙に広く存在し、物質の第 4 の状態とみなされることがよくあります。それはプラズマ状態と呼ばれ、「プラズマ」とも呼ばれます。プラズマは高い電気伝導率を持ち、電磁場との強い結合効果を持っています。これは部分的にイオン化されたガスであり、電子、イオン、フリーラジカル、中性粒子、光子で構成されています。プラズマ自体は、物理的および化学的に活性な粒子を含む電気的に中性の混合物です。

簡単に説明すると、高エネルギーの作用下で、分子はファンデルワールス力、化学結合力、クーロン力に打ち勝ち、全体として中性の電気を呈することになります。同時に、外部から与えられる高いエネルギーが上記の３つの力を克服します。機能、電子、イオンは自由な状態を示し、半導体エッチングプロセス、CVDプロセス、PVD、IMPプロセスなどの磁場の変調下で人工的に使用できます。

高エネルギーとは何ですか？理論的には、高温および高周波 RF の両方を使用できます。一般に、高温を達成することはほとんど不可能です。この温度要件は高すぎるため、太陽の温度に近い可能性があります。基本的に途中で達成することは不可能です。したがって、業界では通常、これを実現するために高周波 RF が使用されます。プラズマ RF は 13MHz+ まで到達できます。

六フッ化タングステンは電場の作用下でプラズマ化され、その後磁場によって蒸着されます。 W 原子は冬のガチョウの羽に似ており、重力の作用で地面に落ちます。ゆっくりと、W原子がスルーホールに堆積され、最終的にスルーホール全体が満たされて金属相互接続が形成されます。 W 原子はスルーホールに堆積するだけでなく、ウェハの表面にも堆積しますか?はい、確かに。一般的には、W-CMP プロセス (いわゆる機械的研削プロセス) を使用して除去できます。大雪の後にほうきを使って床を掃くのと同じです。地面の雪は掃き落とされますが、地面の穴の雪は残ります。下もほぼ同じ。