シランシランはケイ素と水素の化合物であり、一連の化合物の総称です。シランは主にモノシラン（SiH4）、ジシラン（Si2H6）、およびいくつかのより高次のケイ素水素化合物を含み、一般式はSinH2n+2です。ただし、実際の製造においては、一般的にモノシラン（化学式SiH4）を「シラン」と呼びます。

電子グレードシランガスシランは主に、シリコン粉末、水素、四塩化ケイ素、触媒などを様々な反応蒸留および精製することによって得られます。純度が3N～4Nのシランは工業用シランと呼ばれ、純度が6N以上のシランは電子用シランガスと呼ばれます。

シリコン部品を運ぶためのガス源として、シランガスモノシランは、その高い純度と精密な制御が可能であることから、他の多くのシリコン源では代替できない重要な特殊ガスとなっています。モノシランは熱分解反応によって結晶シリコンを生成し、これは現在、世界における粒状単結晶シリコンおよび多結晶シリコンの大規模生産方法の一つとなっています。

シランの特性

シラン（SiH4）シランは無色の気体で、空気と反応して窒息を引き起こします。別名は水素化ケイ素です。シランの化学式はSiH4で、含有量は99.99%にも達します。室温・常圧では、シランは悪臭を放つ有毒ガスです。シランの融点は-185℃、沸点は-112℃です。室温ではシランは安定していますが、400℃まで加熱すると、気体のケイ素と水素に完全に分解します。シランは可燃性・爆発性があり、空気中やハロゲンガス中で爆発的に燃焼します。

応用分野

シランは幅広い用途に使用されています。太陽電池の製造において、シリコン分子をセル表面に付着させる最も効果的な方法であることに加え、半導体、フラットパネルディスプレイ、コーティングガラスなどの製造工場でも広く使用されています。

シランシリコンは、半導体産業における単結晶シリコン、多結晶シリコンエピタキシャルウェーハ、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンケイ酸ガラスなどの化学気相成長プロセスにおけるシリコン源であり、太陽電池、シリコンコピー機ドラム、光電センサー、光ファイバー、特殊ガラスの製造および開発に広く使用されています。

近年、シランのハイテク応用分野は、先進セラミックス、複合材料、機能性材料、生体材料、高エネルギー材料などの製造を含め、次々と出現しており、多くの新技術、新素材、新デバイスの基盤となっている。