シランシランはケイ素と水素の化合物であり、一連の化合物の総称です。シランは主にモノシラン（SiH4）、ジシラン（Si2H6）、およびいくつかの高次ケイ素水素化合物を含み、一般式はSinH2n+2です。しかし、実際の製造では、モノシラン（化学式SiH4）を「シラン」と呼ぶことが一般的です。

電子グレードシランガス主にシリコン粉末、水素、四塩化ケイ素、触媒などを各種反応蒸留精製して得られる。純度が3N～4Nのシランは工業用シランと呼ばれ、純度が6N以上のシランは電子用シランガスと呼ばれる。

シリコン部品を運ぶためのガス源として、シランガスモノシランは、その高純度と微細制御性から、他の多くのシリコン源では代替できない重要な特殊ガスとなっています。モノシランは熱分解反応によって結晶シリコンを生成し、現在、世界中で粒状単結晶シリコンおよび多結晶シリコンの大規模生産方法の一つとなっています。

シランの特性

シラン（SiH4）シランは無色の気体で、空気と反応して窒息を引き起こします。同義語は水素化ケイ素です。シランの化学式はSiH4で、含有量は99.99%にも達します。常温常圧下では、シランは悪臭を放つ有毒ガスです。シランの融点は-185℃、沸点は-112℃です。室温では安定していますが、400℃に加熱すると、気体のシリコンと水素に完全に分解します。シランは可燃性、爆発性があり、空気中やハロゲンガス中では爆発的に燃焼します。

応用分野

シランは幅広い用途があります。太陽電池の製造において、シリコン分子をセルの表面に付着させる最も効果的な方法であることに加え、半導体、フラットパネルディスプレイ、コーティングガラスなどの製造工場でも広く使用されています。

シラン半導体産業における単結晶シリコン、多結晶シリコンエピタキシャルウェーハ、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンケイ酸ガラスなどの化学蒸着プロセス用のシリコン源であり、太陽電池、シリコン複写機ドラム、光電センサー、光ファイバー、特殊ガラスの製造開発に広く使用されています。

近年、シランは先端セラミックス、複合材料、機能性材料、生体材料、高エネルギー材料などの製造を含むハイテク用途で新たな発展を遂げており、多くの新技術、新材料、新デバイスの基礎となっています。