シランケイ素と水素の化合物であり、一連の化合物の総称です。シランには主にモノシラン (SiH4)、ジシラン (Si2H6)、および一般式 SinH2n+2 を持ついくつかの高次シリコン水素化合物が含まれます。ただし、実際の製造ではモノシラン（化学式SiH4）を「シラン」と呼ぶことが一般的です。

電子グレードシランガス主にシリコン粉末、水素、四塩化ケイ素、触媒などを各種反応蒸留・精製して得られます。純度3N～4Nのシランを工業用シラン、純度6N以上のシランを電子シランと呼びます。グレードのシランガス。

シリコン部品を搬送するためのガス源として、シランガス純度が高く、細かな制御が可能なため、他の多くのシリコンソースでは代替できない重要な特殊ガスとなっています。モノシランは熱分解反応により結晶シリコンを生成し、現在世界中で粒状の単結晶シリコンや多結晶シリコンを大量に製造する方法の一つとなっている。

シランの特性

シラン (SiH4)空気と反応して窒息を引き起こす無色のガスです。その同義語は水素化ケイ素です。シランの化学式はSiH4であり、その含有量は99.99%と高い。室温および常圧では、シランは悪臭を放つ有毒ガスです。シランの融点は-185℃、沸点は-112℃です。シランは室温では安定ですが、400℃に加熱すると完全に分解してシリコンガスと水素になります。シランは可燃性、爆発性があり、空気中またはハロゲンガス中で爆発的に燃焼します。

応用分野

シランには幅広い用途があります。太陽電池の製造時にシリコン分子をセルの表面に付着させる最も効果的な方法であることに加えて、半導体、フラットパネルディスプレイ、コーティングされたガラスなどの製造工場でも広く使用されています。

シラン半導体産業における単結晶シリコン、多結晶シリコンエピタキシャルウェーハ、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンケイ酸ガラスなどの化学蒸着プロセスのシリコンソースであり、太陽電池、シリコンコピー機ドラムの製造および開発に広く使用されています。 、光電センサー、光ファイバー、特殊ガラス。

近年、先端セラミックス、複合材料、機能性材料、生体材料、高エネルギー材料などの製造を含むシランのハイテク用途が依然として出現しており、多くの新技術、新材料、新製品の基礎となっています。デバイス。