シランシリコンと水素の化合物であり、一連の化合物の一般的な用語です。シランには、主にモノシラン（SIH4）、デスイラン（SI2H6）、およびいくつかの高レベルのシリコン水素化合物が含まれ、一般式SINH2N+2が含まれています。ただし、実際の生産では、通常、モノシラン（化学式SIH4）を「シラン」と呼びます。

電子グレードシランガス主に、シリコン粉末、水素、四塩化シリコン、触媒などのさまざまな反応蒸留と精製によって得られます。3N〜4Nの純度を持つシランは工業用グレードシランと呼ばれ、6N以上の純度のシランは電子グレードシランガスと呼ばれます。

シリコンコンポーネントを運ぶためのガス源として、シランガス純度が高く、細かい制御を達成する能力のために、他の多くのシリコンソースに置き換えることができない重要な特別なガスになっています。モノシランは、熱分解反応を通じて結晶性シリコンを生成します。これは、現在、世界の粒状単結晶シリコンと多結晶シリコンの大規模生産の方法の1つです。

シラン特性

シラン（SIH4）空気と反応して窒息を引き起こす無色のガスです。その同義語は水素化シリコンです。シランの化学式はSIH4であり、その含有量は99.99％に達します。室温と圧力では、シランは悪臭を放つ毒性ガスです。シランの融点は-185℃で、沸点は-112℃です。室温では、シランは安定していますが、400℃に加熱すると、ガスのようなシリコンと水素に完全に分解されます。シランは可燃性で爆発的であり、空気またはハロゲンガスで爆発的に燃焼します。

アプリケーションフィールド

Silaneには幅広い用途があります。太陽電池の生産中にシリコン分子を細胞の表面に付着させる最も効果的な方法であることに加えて、半導体、フラットパネルディスプレイ、コーティングされたガラスなどの製造植物でも広く使用されています。

シラン単結晶シリコン、多結晶シリコンエピタキシャルウェーハ、二酸化シリコン、ニトリドシリコン、および半導体産業のリンシリケートガラスなどの化学蒸気堆積プロセスのシリコン源であり、太陽電池の生産と発生に広く使用されています。

近年、高度なセラミック、複合材料、機能材料、生体材料、高エネルギー材料などの製造など、シランのハイテク用途が依然として出現しており、多くの新しい技術、新しい材料、新しいデバイスの基礎となっています。