四フッ化炭素（CF4）

技術的パラメータ

四フッ化炭素は、化学式CF4のハロゲン化炭化水素です。ハロゲン化炭化水素、ハロゲン化メタン、パーフルオロカーボン、または無機化合物とみなすことができます。四フッ化炭素は無色無臭の気体で、水に溶けず、ベンゼンとクロロホルムに溶けます。常温常圧下で安定しており、強力な酸化剤、可燃性または燃焼性物質との接触を避けてください。不燃性ガスであるため、高熱にさらされると容器の内圧が上昇し、割れて爆発する危険があります。化学的に安定しており、不燃性です。室温で作用できるのは液体アンモニア - ナトリウム金属試薬のみです。四フッ化炭素は温室効果を引き起こすガスです。非常に安定しており、大気中に長時間留まることができ、非常に強力な温室効果ガスです。四フッ化炭素は、さまざまな集積回路のプラズマエッチングプロセスに使用されます。レーザーガスとしても使用され、低温冷媒、溶剤、潤滑剤、絶縁材、赤外線検出器の冷却剤にも使用されています。マイクロエレクトロニクス業界で最も使用されているプラ​​ズマエッチングガスです。テトラフルオロメタン高純度ガスとテトラフルオロメタン高純度ガスと高純度酸素の混合物です。シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンケイ酸ガラスに広く使用できます。タングステンやタングステンなどの薄膜材料のエッチングは、電子機器の表面洗浄、太陽電池製造、レーザー技術、低温冷凍、リーク検査、プリント回路製造における洗剤にも広く使用されています。集積回路の低温冷媒およびプラズマドライエッチング技術として使用されます。保管上の注意：涼しく換気の良い不燃性ガス倉庫に保管してください。火気や熱源から遠ざけてください。保管温度は30℃を超えてはなりません。易燃性可燃物および酸化剤とは別に保管し、混合保管は避けてください。保管場所には漏洩時の緊急処置設備を備え付けてください。

応用：

① 冷媒：

テトラフルオロメタンは低温冷媒として使用されることもあります。

②エッチング：

シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素のプラズマエッチング剤として、電子機器の微細加工において単独で、または酸素と組み合わせて使用​​されます。

通常パッケージ:

アドバンテージ：

①高純度、最新設備。

②ISO認証メーカー

③迅速な配達

④各工程における品質管理のためのオンライン分析システム

⑤充填前のシリンダーの取り扱いには高い要件と細心の注意を払うプロセスが必要です。