四フッ化炭素(CF4)

技術的パラメータ

四フッ化炭素は、化学式 CF4 のハロゲン化炭化水素です。ハロゲン化炭化水素、ハロゲン化メタン、パーフルオロカーボン、または無機化合物とみなすことができます。四フッ化炭素は無色無臭の気体で、水に溶けず、ベンゼンとクロロホルムに溶けます。常温常圧下では安定ですが、強力な酸化剤、可燃性または可燃性物質を避けてください。不燃性ガスのため、高熱にさらされると容器の内圧が高まり、亀裂が入って爆発する危険があります。化学的に安定しており、不燃性です。液体アンモニア - ナトリウム金属試薬のみが室温で機能します。四フッ化炭素は温室効果を引き起こすガスです。非常に安定しており、大気中に長期間留まることができ、非常に強力な温室効果ガスです。四フッ化炭素は、さまざまな集積回路のプラズマ エッチング プロセスで使用されます。レーザーガスとしても使用されており、低温の冷媒、溶剤、潤滑剤、絶縁材、赤外線検出器の冷却剤などに使用されています。マイクロエレクトロニクス業界で最も使用されているプラ​​ズマ エッチング ガスです。テトラフルオロメタン高純度ガスとテトラフルオロメタン高純度ガスと高純度酸素の混合物です。シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、リンケイ酸ガラスなどに幅広く使用できます。タングステンやタングステンなどの薄膜材料のエッチングは、電子デバイスの表面洗浄、太陽電池製造、レーザー技術、低温冷凍、漏れ検査、プリント回路製造における洗浄剤にも広く使用されています。低温冷媒や集積回路のプラズマドライエッチング技術として使用されます。保管上の注意：換気の良い涼しい不燃性ガス倉庫に保管してください。火気や熱源から遠ざけてください。保管温度は 30°C を超えないようにしてください。易発性（可燃性）の可燃物や酸化剤とは別に保管し、混合保管は避けてください。保管場所には漏洩緊急処理装置を設置する必要があります。

応用：

①冷媒：

テトラフルオロメタンは低温冷媒として使用されることがあります。

②エッチング：

エレクトロニクス微細加工において、シリコン、二酸化シリコン、窒化シリコンのプラズマエッチング剤として単独または酸素と組み合わせて使用​​されます。

通常パッケージ：

アドバンテージ：

①高純度、最新の設備。

②ISO認証メーカー。

③短納期。

④各段階の品質管理のためのオンライン分析システム。

⑤充填前のシリンダーの取り扱いには高い要件と細心の注意が必要です。