新規顧客であろうと既存顧客であろうと、当社は中国工場価格の99.9999%高純度SiH4ガスに関して、長期的かつ信頼できる関係を築くことを信条としています。シランガス半導体成膜プロセスに関して、新規および既存のお客様からの電話またはメールによるお問い合わせを歓迎いたします。将来的な企業提携および相互の成功の達成を目指します。
新規顧客であろうと既存顧客であろうと、私たちは長期にわたる信頼関係を重視しています。中国Sih4, シランガス市場の需要増と長期的な発展に対応するため、15万平方メートルの新工場を建設中で、2014年に稼働開始予定です。これにより、当社は大規模な生産能力を確保できます。もちろん、お客様のご要望にお応えできるようサービス体制の改善にも継続的に取り組み、皆様に健康、幸福、そして美しさをお届けしてまいります。
| 成分 | 99.9999% | ユニット |
| 酸素(Ar) | ≤0.1 | ppmV |
| 窒素 | ≤0.1 | ppmV |
| 水素 | ≤20 | ppmV |
| ヘリウム | ≤10 | ppmV |
| CO+CO2 | ≤0.1 | ppmV |
| THC | ≤0.1 | ppmV |
| クロロシラン | ≤0.1 | ppmV |
| ジシロキサン | ≤0.1 | ppmV |
| ジシラン | ≤0.1 | ppmV |
| 水分(H2O) | ≤0.1 | ppmV |
シランはケイ素と水素の化合物です。モノシラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)、およびいくつかのより高次のケイ素-水素化合物を含む一連の化合物の総称です。その中でもモノシランが最も一般的で、略してシランと呼ばれることもあります。シランは無色で、ニンニクのような不快な臭いがします。水に溶けますが、エタノール、エーテル、ベンゼン、クロロホルム、クロロホルムケイ素、四塩化ケイ素にはほとんど溶けません。シランの化学的性質はアルカンよりもはるかに活性が高く、容易に酸化されます。空気と接触すると自然発火する可能性があります。25℃以下では窒素と反応せず、室温では炭化水素化合物と反応しません。シランの火災と爆発は酸素との反応の結果です。シランは酸素と空気に対して非常に敏感です。ある濃度のシランは、-180℃の温度でも酸素と爆発的に反応します。シランは半導体マイクロエレクトロニクスプロセスで使用される最も重要な特殊ガスとなり、単結晶膜、微結晶膜、多結晶膜、酸化シリコン、窒化シリコン、金属シリサイドなど、さまざまなマイクロエレクトロニクス膜の製造に使用されています。シランのマイクロエレクトロニクスへの応用は、低温エピタキシー、選択的エピタキシー、ヘテロエピタキシーなど、現在も発展を続けています。シリコンデバイスやシリコン集積回路だけでなく、化合物半導体デバイス(ガリウムヒ素、炭化ケイ素など)にも使用されています。また、超格子量子井戸材料の製造にも応用されています。現代の高度な集積回路製造ラインのほぼすべてでシランが使用されていると言えるでしょう。シリコン含有膜やコーティングとしてのシランの応用は、従来のマイクロエレクトロニクス産業から、鉄鋼、機械、化学、光学などのさまざまな分野にまで広がっています。シランのもう一つの潜在的な用途は、高性能セラミックエンジン部品の製造であり、特にシランを使用してケイ化物(Si3N4、SiCなど)の微粉末を製造する技術は、ますます注目を集めている。
①電子版:
シランは、半導体製造時にシリコンウェハー上の多結晶シリコン層に塗布され、封止材としても使用される。
②太陽光発電:
シランは太陽光発電モジュールの製造に使用されます。
③工業用:
省エネ型グリーンガラスに使用され、蒸着薄膜プロセスにも応用されています。
| 製品 | シラン(SiH4)液体 | |
| パッケージサイズ | 47リットルシリンダー | Y-440L |
| 充填正味重量/シリンダー | 10kg | 125kg |
| 20フィートコンテナに積載された数量 | 250気筒 | 8気筒 |
| 総正味重量 | 2.5トン | 1トン |
| シリンダーの風袋重量 | 52kg | 680kg |
| バルブ | CGA632/DISS632 | |
①10年以上の市場実績。
②ISO認証取得メーカー
③迅速な配送
④安定した原材料供給源
⑤あらゆる工程における品質管理のためのオンライン分析システム。
⑥充填前のシリンダーの取り扱いには、高い要求水準と綿密なプロセスが求められる。
⑦純度:高純度電子グレード
⑧用途:太陽電池材料、高純度ポリシリコン、酸化シリコン、光ファイバーの製造、着色ガラスの製造。新規顧客であろうと既存顧客であろうと、当社は中国工場価格の99.9999%高純度SiH4ガスに関して、長期的かつ信頼できる関係を築くことを信条としています。シランガス半導体成膜プロセスに関して、新規および既存のお客様からの電話またはメールによるお問い合わせを歓迎いたします。将来的な企業提携および相互の成功の達成を目指します。
工場価格中国Sih4シランガス、より多くの市場需要と長期的な発展に対応するため、15万平方メートルの新工場を建設中で、2014年に稼働開始予定です。これにより、当社は大規模な生産能力を持つことになります。もちろん、お客様のご要望にお応えし、皆様に健康、幸福、美しさをお届けできるよう、サービス体制の改善にも継続的に取り組んでまいります。