エキシマレーザーガス

エキシマレーザーは紫外線レーザーの一種で、半導体製造、眼科手術、レーザー加工など、多くの分野で広く使用されています。成都太宇ガスは、レーザー励起基準を満たすように比率を正確に制御することができ、当社の製品は上記の分野で大規模に採用されています。

例えば、アルゴンフッ化物ガスエキシマレーザーでは、光が混合・励起され、肉眼では見えない超紫外線ビームが生成されます。このビームは肉眼では見えず、波長が193ナノメートルと非常に短く、透過力も弱いのが特徴です。

エキシマレーザーは、超短パルス（パルス幅はピコ秒またはフェムト秒）を放出できるパルスガスレーザーです。波長が360nmより短い高エネルギーの紫外線を放出します。紫外線の放出源は、希ガス（ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトンなど）とハロゲンガス（フッ素、塩素、臭素など）を等量混合した高圧ガス中での急速放電です。

現在、弊社では以下のものを提供できます。ArF混合ガス市販されているほぼすべてのエキシマレーザー機器のブランドに対応しています。