電子特殊ガスの国内代替計画が全面的に加速！

2018年、世界の集積回路用電子特殊ガス市場は45億1,200万米ドルに達し、前年比16%増となりました。半導体用電子特殊ガス産業の高い成長率と巨大な市場規模は、国内における電子特殊ガスの代替計画を加速させています。

電子ガスとは何ですか?

電子ガスとは、半導体、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、太陽電池などの電子製品の製造に使用される基本的な原料であり、洗浄、エッチング、成膜、ドーピングなどのプロセスに広く使用されています。電子ガスの主な応用分野は、電子産業、太陽電池、モバイル通信、カーナビゲーション、カーオーディオ・ビデオシステム、航空宇宙、軍事産業など、多岐にわたります。

電子特殊ガスは、その化学組成に基づいて、シリコン、ヒ素、リン、ホウ素、金属水素化物、ハロゲン化物、金属アルコキシドの7種類に分類されます。集積回路における用途の違いにより、ドーピングガス、エピタキシーガス、イオン注入ガス、発光ダイオードガス、エッチングガス、化学蒸着ガス、バランスガスに分類されます。半導体業界では110種類以上のユニット特殊ガスが使用されており、そのうち30種類以上が一般的に使用されています。

一般的に、半導体製造業界ではガスを常用ガスと特殊ガスの2種類に分類しています。常用ガスとは、N₂、H₂、O₂、Ar、Heなど、集中供給され、使用量の多いガスを指します。特殊ガスとは、半導体製造工程で使用される化学ガス（伸長、イオン注入、ブレンディング、洗浄、マスク形成など）を指し、現在では電子特殊ガスと呼ばれています。例えば、高純度SiH₄、PH₄、AsH₄、B₂H₄、N₂O、NH₄、SF₄、NF₄、CF₄、BCl₄、BF₄、HCl、Cl₄などが挙げられます。

半導体産業におけるチップ成長から最終的なデバイスのパッケージングに至るまで、製造プロセス全体において、ほぼすべての工程は電子特殊ガスと切り離せない関係にあり、使用されるガスの種類と高い品質要件を満たす必要があるため、電子特殊ガスは半導体材料にとって不可欠な要素となっています。「食品」。

近年、中国では半導体やディスプレイパネルなどの主要な電子部品の新規生産能力が拡大しており、電子化学材料の輸入代替需要が強い。半導体産業における電子ガスの地位はますます重要になっており、国内の電子ガス産業は急速な成長を迎えるだろう。

電子特殊ガスは純度に対する要求が非常に高く、純度が要求を満たしていない場合、電子特殊ガス中の水蒸気や酸素などの不純物群が半導体表面に酸化膜を形成しやすく、電子機器の寿命に影響を与えるだけでなく、電子特殊ガス中に含まれる不純物粒子が半導体の短絡や回路損傷を引き起こす可能性があるためです。純度の向上は、電子機器製造の歩留まりと性能において重要な役割を果たしていると言えます。

半導体産業の継続的な発展に伴い、チップ製造プロセスは継続的に改善され、現在では5nmに達しています。これはムーアの法則の限界に近づいており、これは人間の髪の毛の直径の20分の1（約0.1mm）に相当します。そのため、半導体から生成される電子特殊ガスの純度に対する要求も高まっています。