2018年、統合回路の世界的な電子ガス市場は45億1,120万米ドルに達し、前年比で16%増加しました。半導体のための電子特別ガス産業の高成長率と巨大な市場規模は、電子特別ガスの国内代替計画を加速しています!
電子ガスとは何ですか?
電子ガスとは、半導体、フラットパネルディスプレイ、光発光ダイオード、太陽電池、その他の電子製品の生産に使用される基本的な供給材料を指し、洗浄、エッチング、フィルム形成、ドーピングおよびその他のプロセスに広く使用されています。電子ガスの主なアプリケーションエリアには、エレクトロニクス産業、太陽電池、モバイル通信、自動車ナビゲーション、カーオーディオおよびビデオシステム、航空宇宙、軍事産業、その他多くの分野が含まれます。
電子特殊ガスは、シリコン、ヒ素、リン、ホウ素、金属水素化物、ハロゲン化物、金属アルコキシドの独自の化学組成に従って7つのカテゴリに分けることができます。積分回路のさまざまなアプリケーション方法によれば、ドーピングガス、エピタキシーガス、イオン着床ガス、光発光ダイオードガス、エッチングガス、化学蒸気堆積ガス、バランスガスに分けることができます。半導体業界では110を超えるユニットの特別ガスが使用されており、そのうち30個以上が一般的に使用されています。
一般的に、半導体生産業界は、ガスを2つのタイプに分割します:一般的なガスと特別なガス。その中で、一般的に使用されるガスは集中供給を指し、N2、H2、O2、AR、HEなどの多くのガスを使用します。特別なガスは、拡張、イオン注入、イオン注入、ブレンド、洗浄、マスク形成など、半導体生産のプロセスで使用されるいくつかの化学ガスを指します。 NH3、SF6、NF3、CF4、BCL3、BF3、HCL、CL2など。
CHIPの成長から最終的なデバイスパッケージまで、半導体業界の生産プロセス全体で、ほとんどすべてのリンクは電子特別ガスと使用されるさまざまなガスと高品質の要件と切り離せないため、電子ガスには半導体材料があります。 "食べ物"。
近年、半導体やディスプレイパネルなどの中国の主要な電子部品は、新しい生産能力が増加しており、電子化学材料の輸入代替に対する強い需要があります。半導体産業における電子ガスの位置はますます顕著になっています。国内の電子ガス産業は、急速な成長を導きます。
電子特殊ガスには純度の要件が非常に高いため、純度が要件に合っていない場合、電子特殊ガスの水蒸気や酸素などの不純物グループは、電子機器のサービス寿命に影響を与える半導体の表面に酸化膜を容易に形成し、電子特殊ガスが半導体の粒子を維持する可能性があります。純度の改善は、電子デバイスの生産の収量と性能において重要な役割を果たすと言えます。
半導体産業の継続的な発展に伴い、チップ製造プロセスは改善を続けており、今では5nmに達しており、これはムーアの法則の限界に近づいています。したがって、これはまた、半導体によって生成される電子特殊ガスの純度に関するより高い要件を提出します。
投稿時間:12月15日 - 2021年