電子特殊ガスの国内代替計画が全方位的に加速！

2018 年の世界の集積回路用電子ガス市場は、前年比 16% 増の 45 億 1,200 万米ドルに達しました。半導体用電子特殊ガス産業の高い成長率と巨大な市場規模により、電子特殊ガスの国内代替計画が加速しています！

電子ガスとは何ですか?

電子ガスとは、半導体、フラットパネルディスプレイ、発光ダイオード、太陽電池などの電子製品の製造に使用される基本原料のことで、洗浄、エッチング、成膜、ドーピングなどのプロセスに広く使用されています。電子ガスの主な応用分野には、エレクトロニクス産業、太陽電池、移動体通信、カーナビゲーション、カーオーディオおよびビデオシステム、航空宇宙、軍事産業、その他多くの分野が含まれます。

電子特殊ガスは、その化学組成によりシリコン、ヒ素、リン、ホウ素、金属水素化物、ハロゲン化物、金属アルコキシドの7つに分類されます。集積回路におけるさまざまな適用方法に応じて、ドーピングガス、エピタキシーガス、イオン注入ガス、発光ダイオードガス、エッチングガス、化学気相成長ガス、バランスガスに分類できます。半導体業界では 110 以上の特殊ガスが使用されており、そのうち 30 以上が一般的に使用されています。

一般に、半導体製造業界ではガスを一般ガスと特殊ガスの 2 種類に分類します。このうち常用ガスとは、N2、H2、O2、Ar、Heなどのガスを集中供給し、多量に使用するガスのことをいいます。特殊ガスとは、半導体製造工程で使用される化学ガスのことを指します。高純度SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、 HCl、Cl2など

チップの成長から最終的なデバイスのパッケージングに至るまで、半導体産業の生産プロセス全体において、ほぼすべてのリンクが電子特殊ガスと切り離すことができず、使用されるガスの種類と高品質の要件が異なるため、電子ガスには半導体材料が含まれます。"食べ物"。

近年、中国の半導体や表示パネルなどの主要電子部品の新規生産能力が増加しており、電子化学材料の輸入代替需要が高まっている。半導体業界における電子ガスの地位はますます重要になってきています。国内の電子ガス産業は今後急成長を遂げるだろう。

電子特殊ガスは純度に対する要求が非常に高く、純度が要求を満たさないと電子特殊ガス中の水蒸気や酸素などの不純物群が半導体表面に酸化膜を形成しやすくなり、半導体の性能に悪影響を及ぼします。電子機器の耐用年数に影響を与える電子特殊ガスに含まれる不純物の粒​​子は、半導体の短絡や回路の損傷を引き起こす可能性があります。純度の向上は電子デバイス製造の歩留まりや性能に重要な役割を果たしていると言えます。

半導体産業の継続的な発展に伴い、チップの製造プロセスは改良を続け、現在では5nmに達し、人間の髪の毛の直径の20分の1に相当するムーアの法則の限界に近づきつつあります（約0.1mm）。したがって、これにより、半導体によって生成される電子特殊ガスの純度に対する要求も高まります。