電子特殊ガス特殊ガスの重要な分野です。これらは半導体製造のほぼすべてのリンクに浸透しており、超大規模集積回路、フラットパネルディスプレイデバイス、太陽電池などの電子産業の生産に不可欠な原材料です。

半導体技術では、フッ素含有ガスが広く使用されています。現在、世界の電子ガス市場ではフッ素系電子ガスが全体の約30％を占めています。フッ素系電子ガスは、電子情報材料分野における特殊電子ガスの重要な成分です。これらは主に洗浄剤やエッチング剤として使用されますが、ドーパントや膜形成材料などとしても使用されます。この記事では、一般的なフッ素含有ガスについて説明します。

一般的に使用されるフッ素含有ガスは以下のとおりです。

三フッ化窒素 (NF3): 堆積物の洗浄と除去に使用されるガス。通常は反応チャンバーや装置表面の洗浄に使用されます。

六フッ化硫黄(SF6): 酸化物堆積プロセスおよび絶縁媒体を充填するための絶縁ガスとして使用されるフッ素化剤。

フッ化水素 (HF): シリコン表面から酸化物を除去するために、またシリコンやその他の材料をエッチングするためのエッチャントとして使用されます。

フッ化窒素 (NF): 窒化シリコン (SiN) や窒化アルミニウム (AlN) などの材料のエッチングに使用されます。

トリフルオロメタン (CHF3) およびテトラフルオロメタン (CF4)：フッ化シリコンやフッ化アルミニウムなどのフッ化物材料のエッチングに使用されます。

しかし、フッ素含有ガスには毒性、腐食性、引火性などの危険性があります。

毒性

フッ化水素 (HF) など、一部のフッ素含有ガスは有毒であり、その蒸気は皮膚や気道を非常に刺激し、人間の健康に有害です。

腐食性

フッ化水素および一部のフッ化物は腐食性が高く、皮膚、目、気道に重大な損傷を引き起こす可能性があります。

可燃性

一部のフッ化物は可燃性で、空気中の酸素または水と反応して高熱や有毒ガスを放出し、火災や爆発を引き起こす可能性があります。

高圧の危険性

一部のフッ素ガスは高圧下で爆発するため、使用および保管する際には特別な注意が必要です。

環境への影響

フッ素含有ガスは大気寿命と GWP 値が高く、大気のオゾン層に破壊的な影響を及ぼし、地球温暖化や環境汚染を引き起こす可能性があります。

エレクトロニクスなどの新興分野でのガスの応用は深化を続けており、工業用ガスに新たな大量の需要がもたらされています。今後数年間に中国本土で半導体やディスプレイパネルなどの主要電子部品の大量の新規生産能力と電子化学材料の輸入代替需要を踏まえ、国内の電子ガス産業は、高い成長率。