テトラフルオリド炭とは何ですか？何の使用ですか？

何ですかテトラフルオリド炭素？何の使用ですか？

テトラフルオリド炭素、テトラフルオロメタンとしても知られているが、無機化合物と見なされている。さまざまな統合回路のプラズマエッチングプロセスで使用され、レーザーガスおよび冷媒としても使用されます。通常の温度と圧力の下では比較的安定していますが、強力な酸化剤、可燃性または可燃性の材料との接触を避ける必要があります。テトラフルオリド炭素は、不燃性ガスです。高熱に遭遇すると、容器の内部圧力が増加し、亀裂や爆発の危険があります。通常、室温での液体アンモニアソディウム金属試薬とのみ相互作用することができます。

テトラフルオリド炭素現在、マイクロエレクトロニクス業界で使用されている最大のプラズマエッチングガスです。シリコン、二酸化ケイ素、リンシリケートガラスおよびその他の薄膜材料のエッチング、電子機器の表面の清掃、太陽電池生産、レーザー技術、ガスフェーズ断熱材、低温冷蔵、漏れ検出剤、および印刷回路生産の干渉剤のエッチングに広く使用できます。