四フッ化炭素とは何ですか?用途は何ですか?

とは四フッ化炭素?用途は何ですか?

四フッ化炭素テトラフルオロメタンとしても知られ、無機化合物とみなされます。さまざまな集積回路のプラズマエッチングプロセスに使用されるほか、レーザーガスや冷媒としても使用されます。常温常圧下では比較的安定ですが、強力な酸化剤、可燃性または可燃性物質との接触を避ける必要があります。四フッ化炭素は不燃性のガスです。高熱にさらされると容器の内圧が上昇し、亀裂が入って爆発する危険があります。通常、それは室温で液体アンモニア-ナトリウム金属試薬とのみ相互作用します。

四フッ化炭素現在、マイクロエレクトロニクス産業で使用されている最大のプラズマ エッチング ガスです。シリコン、二酸化ケイ素、リンケイ酸ガラス、その他の薄膜材料のエッチング、電子デバイスの表面の洗浄、太陽電池の製造、レーザー技術、気相絶縁、低温冷凍、漏れ検出剤、プリント回路製造における洗剤には多くの用途があります。