四フッ化炭素とは何ですか？どのような用途がありますか？

何ですか四フッ化炭素? 何の役に立つんですか?

四フッ化炭素テトラフルオロメタンとも呼ばれる四フッ化炭素は、無機化合物に分類されます。各種集積回路のプラズマエッチングプロセスに使用され、レーザーガスや冷媒としても使用されます。常温常圧下では比較的安定していますが、強力な酸化剤、可燃性物質、燃焼性物質との接触を避ける必要があります。四フッ化炭素は不燃性ガスであり、高熱にさらされると容器の内圧が上昇し、割れや爆発の危険があります。通常、室温では液体アンモニア-ナトリウム金属試薬とのみ反応します。

四フッ化炭素現在、マイクロエレクトロニクス業界で使用されているプラ​​ズマエッチングガスの中で最大のものです。シリコン、二酸化ケイ素、リンケイ酸ガラスなどの薄膜材料のエッチング、電子デバイスの表面洗浄、太陽電池製造、レーザー技術、気相絶縁、低温冷凍、リーク検出剤、プリント回路製造における洗浄剤など、幅広い用途に使用されています。