シラン（SiH4）

技術的パラメータ

シランはケイ素と水素の化合物です。モノシラン（SiH4）、ジシラン（Si2H6）、そしていくつかのより高次のケイ素水素化合物を含む一連の化合物の総称です。その中で最も一般的であるモノシランは、略してシランと呼ばれることもあります。シランは無色の気体で、ニンニクのような不快な臭いがします。水に溶け、エタノール、エーテル、ベンゼン、クロロホルム、四塩化ケイ素にはほとんど溶けません。シランの化学的性質はアルカンよりもはるかに活性が高く、酸化されやすいです。空気と接触すると自然発火する可能性があります。25℃以下では窒素とは反応せず、室温では炭化水素化合物とは反応しません。シランの火災や爆発は、酸素との反応によるものです。シランは酸素と空気に非常に敏感です。一定濃度のシランは、-180℃の温度でも酸素と爆発的に反応します。シランは半導体マイクロエレクトロニクスプロセスで使用される最も重要な特殊ガスとなり、単結晶膜、微結晶、多結晶、酸化シリコン、窒化シリコン、金属シリサイドなど、さまざまなマイクロエレクトロニクス膜の製造に使用されています。シランのマイクロエレクトロニクスへの応用は、低温エピタキシー、選択エピタキシー、ヘテロエピタキシーなど、現在も深く発展しています。シリコンデバイスやシリコン集積回路だけでなく、化合物半導体デバイス（ガリウムヒ素、炭化シリコンなど）にも使用されています。また、超格子量子井戸材料の製造にも応用されています。現代のほとんどすべての先進的な集積回路生産ラインでシランが使用されていると言えます。シリコン含有膜やコーティングとしてのシランの応用は、従来のマイクロエレクトロニクス産業から、鉄鋼、機械、化学、光学などのさまざまな分野に拡大しています。シランのもう一つの潜在的な用途は、高性能セラミックエンジン部品の製造であり、特にシランを使用したシリサイド（Si3N4、SiCなど）マイクロパウダー技術はますます注目を集めています。

応用：

①電子：

シランは、半導体の製造時にシリコンウェハ上の多結晶シリコン層やシーラントに使用されます。

②太陽光：

シランは太陽光発電モジュールの製造に使用されます。

③産業：

省エネグリーンガラスに使用され、蒸着薄膜プロセスにも応用されています。

通常パッケージ:

アドバンテージ：

①市場で10年以上の販売実績

②ISO認証メーカー

③迅速な配達

④安定した原材料供給源

⑤各工程における品質管理のためのオンライン分析システム

⑥充填前のシリンダーの取り扱いには高い要件と細心の注意を払うプロセスが必要です。

⑦純度：高純度電子グレード。

⑦用途：太陽電池材料、高純度ポリシリコン、酸化シリコン、光ファイバーの製造、着色ガラス製造。