シラン (SiH4)

技術的パラメータ

シランはシリコンと水素の化合物です。これは、モノシラン (SiH4)、ジシラン (Si2H6)、およびいくつかの高次のシリコン水素化合物を含む一連の化合物の総称です。その中で、モノシランが最も一般的であり、略してシランと呼ばれることもあります。シランはニンニクのような嫌な臭いを持つ無色の気体です。水に溶けますが、エタノール、エーテル、ベンゼン、クロロホルム、シリコンクロロホルム、四塩化シリコンにはほとんど溶けません。シランの化学的性質はアルカンよりもはるかに活性が高く、容易に酸化されます。空気に触れると自然発火が起こる可能性があります。 25℃以下では窒素と反応せず、室温では炭化水素化合物とも反応しません。シランの火災と爆発は酸素との反応の結果です。シランは酸素と空気に非常に敏感です。一定濃度のシランは、-180°C の温度でも酸素と爆発的に反応します。シランは、半導体マイクロエレクトロニクスプロセスで使用される最も重要な特殊ガスとなっており、単結晶膜、微結晶、多結晶、酸化ケイ素、窒化ケイ素、金属ケイ化物などのさまざまなマイクロエレクトロニクス膜の調製に使用されます。シランのマイクロエレクトロニクスへの応用は、低温エピタキシー、選択的エピタキシー、ヘテロエピタキシャルエピタキシーなど、依然として深く発展しています。シリコンデバイスやシリコン集積回路だけでなく、化合物半導体デバイス（ガリウムヒ素、炭化シリコンなど）にも対応します。超格子量子井戸材料の調製にも応用できます。シランは現代のほとんどすべての高度な集積回路生産ラインで使用されていると言えます。シリコン含有フィルムおよびコーティングとしてのシランの応用は、従来のマイクロエレクトロニクス産業から鉄鋼、機械、化学、光学などのさまざまな分野に拡大しています。シランのもう 1 つの潜在的な用途は、高性能セラミック エンジン部品の製造であり、特にケイ化物 (Si3N4、SiC など) 微粉末技術を製造するためのシランの使用がますます注目を集めています。

応用：

①電子：

シランは、半導体や封止材の製造時にシリコンウェーハ上の多結晶シリコン層に塗布されます。

②太陽光：

シランは太陽光発電モジュールの製造に使用されます。

③産業用：

省エネグリーンガラスや蒸着薄膜プロセスに応用されています。

通常パッケージ：

アドバンテージ：

①市場に出て10年以上。

②ISO認証メーカー。

③短納期。

④安定した原料供給源。

⑤各段階の品質管理のためのオンライン分析システム。

⑥充填前のシリンダーの取り扱いには高い要件と細心の注意が必要です。

⑦純度：高純度電子グレード。

⑧用途：太陽電池材料。高純度のポリシリコン、酸化シリコン、光ファイバーの製造。色ガラスの製造。